一、产品功能MB3000-CH90气体分析仪可在用户友好的环境中提供快速、准确的傅立叶变换红外关键气体测量,测量范围可达ppb级。这款高性能、免维护的光谱仪可用于研发或质量保证/质量控制实验室,检查气体纯度、控制气体混合和成分或进行未知成分标样,使测量变得简单。二、产品特点1. 操作简单,无需分析专家,全天候运行,数据显示在工具监控器上2. 无试剂操作降低了拥有成本3. 低成本解决方案满足现有预算4. 无需对润湿部件取样...
一、产品功能OA-ICOSTM工业痕量气体分析仪旨在以优异的灵敏度、准确度、精密度和响应时间,满足客户的苛刻要求。它简单易用,可在几分钟内启动,无需现场校准,并且只需极少的预防性维护。该系列气体分析仪非常适用于:1. 空气分子污染(AMC)监测:用于确保半导体晶圆厂(FAB)工艺和人员的健康安全2. 前开式晶圆传送盒(FOUP)和气相沉积室监测与传统的光腔衰荡光谱技术相比,离轴1COS技术具有诸多优势,例如:更...